德国宝德Burkert气体质量流量计/Burkert气体质量流量控制器的结构和Burkert气体质量流量控制器工作原理你知道吗？

什么是Burkert气体质量流量控制器MFC？

宝德Burkert气体质量流量控制器（MFC）与气体质量流量计（MFM），MFC是带有控制气体质量流量的装置，而MFM是不具有控制气体质量流量功能的装置。

宝德Burkert气体质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对于气体的质量流量进行精密测量和控制:气体质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM)用于对于气体的质量流量进行精密测量。扩散，氧化，分子束外延，CVD， 等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。德国宝德Burkert气体流量计|Burkert气体质量流量控制器广泛用于石油化工，冶金，制药等。特点:精度高，重复性好。

1、Burkert气体质量流量控制器结构

Burkert气体质量流量控制器MFM由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器通道机壳等部件组成，只能对气体质量流量进行测量;在MFM基础上加上调节阀构成MFC,既可以对气体质量流量进行测量，也能对流量进行控制。

2、Burkert气体质量流量计/Burkert气体质量流量控制器工作原理

气流进入进气管道街头后大部分流量流过分流器通道，其中很小- -部分进入Burkert传感器内部的毛细钢管。由于分流器通道的特殊结构，可以实现这两部分气体流量成正比例关系。传感器经过预热加温，里面的温度高于进入的气流温度，此时通过毛细钢管传热和温差量热法原理测量这一小部分气体的质量流量。用这种办法测出的气体流量可以忽略温度和压力的影响，将Burkert传感器测得的流量检测信号输入电路板，经过放大后输出，就完成了MFM的功能。将电路板中加入PID闭环自动控制功能,把Burkert传感器测得的流量检测信号与用户给出的设定信号进行比较，以此为基础控制调节阀，使得流量检测信号与设定信号相等，这样便实现了Burkert气体质量流量控制器MFC的功能。

Burkert气体质量流量控制器8742 型和 8746 型：具有模拟量接口或 Profibus-DP 接口的气体质量流量控制器和质量流量计

我们的 8742和8746型Burkert质量流量控制器（MFC）和Burkert质量流量计（MFM）现在可以提供模拟量通讯和 Profibus-DP 通讯的版本。了解更多优势。

除了现有的 büS/CANopen 版本外，8742 和 8746 型Burkert质量流量控制器和质量流量计现在还有标准模拟量信号接口或 Profibus-DP 通讯版本。这使您在系统设计中有更多的选择和灵活性。

直接在气流中测量

Bürkert气体质量流量控制器MFC 和 MFM 的传感器直接位于气流中，并用真实气体进行标定。这使它们具有很高的动态特性和测量精度以及超快的响应和稳定时间。

坚实的现场设备

得益于 IP65 和 IP67 防护等级，新加固型 8742 和 8746 可以直接在现场使用，而无需装在控制柜内。此外，这些装置还有 ATEX/IECEx 2 区 3 类 G/D 认证版本可供选择。

8742和8746型Burkert气体质量流量控制器优势一览

? 借助直接位于气流中的真实气体标定的传感器，实际测量精度在同类产品中最高

? 防护等级达 IP65 和 IP67，适合在严苛的现场使用

? 由于流量标定在很长一段时间内都保持稳定并且介质中没有活动部件，维护成本很低

? 易于集成到现有系统中

详细了解Burkert气体质量流量控制器带 Profibus-DP 的 MFC 和 MFM：

8742型Burkert气体质量流量控制器

8746型Burkert气体质量流量控制器

详细了解Burkert气体质量流量控制器带模拟接口的 MFC 和 MFM：

8742型

8746型